BSLtech Semiconductor LØSNING
Å utvikle din ekspertise innen halvlederindustrien krever ofte renrom eller laminære strømningsskap med høy ISO-klasse (ISO 5 eller høyere). Har du med UV-sensitive prosesser å gjøre? Selv da leverer BSL det riktige renrommet. Renrommene har en høykvalitets veggfinish og har belysning med UV-filter. Ved bruk av antistatiske (ESD) materialer og antistatiske stenger på filtersystemet nøytraliseres den statiske ladningen i luften.
Når avgassing ikke ønskes, tilbyr BSL et renrom av ikke-avgassende materialer (PU). Denne teknologien har sin opprinnelse i romfartsindustrien.
Typiske prosesser i halvlederindustrien:
● Beskyttelse av underlag og silisiumskiver
● EUV-forskning
● Mask aligners
● Vakuumbelegg, tynnfilmavsetning
● Utskriftsapplikasjoner
● Optikk
Front-end og back-end prosesser