Halvleder

BSLtech Semiconductor-løsning

Å utvikle ekspertisen din innen halvlederindustrien krever ofte renrom eller laminære strømningsskap med høy ISO-klasse (ISO 5 eller høyere). Har du UV-følsomme prosesser å gjøre med? Selv da leverer BSL det riktige renrommet. Renrommene har en veggfinish av høy kvalitet og har belysning med UV-filter. Ved bruk av antistatiske (ESD) materialer og antistatiske stenger på filtersystemet nøytraliseres den statiske ladningen i luften.

Når avgassing ikke er ønskelig, tilbyr BSL et renrom med ikke-avgassingende materialer (PU). Denne teknologien har sin opprinnelse i luftfartsindustrien.

Typiske prosesser i halvlederindustrien:

● Beskyttelse av substrater og silisiumskiver
● EUV-forskning
● Maskejusteringer
● Vakuumbelegg, tynnfilmavsetning
● Utskriftsapplikasjoner
● Optikk

Front-end og back-end prosesser